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石英等離子清洗機
應用范圍
? 材料科學
? 高分子科學
? 生物醫藥材料學，醫療支架
? 微流體研究及PDMS
? 微電子機械系統研究
? 光學
? 顯微術
? 電池極性材料，硅基，金屬半導體，陶瓷
? 科研、實驗、教學
石英等離子清洗機是專門針對高潔凈度敏感產品處理需求的產品。作為有針對的設計，提供多種配置功能選項。并具有高性能以及穩定性，操作方便的使用特性。
并可以控制在極低的腔體溫度，特別適用于溫度敏感器件。
產品規格
型號 | JL-VQ05 | JL-VQ10 | JL-VQ15 | JL-VQ20 |
容量 | 5L | 10L | 15L | 20L |
功率 | 300W可調 | 500W可調 | 1000W可調 | 1000W可調 |
頻率 | 13.56MHZ | 13.56MHZ | 13.56MHZ | 13.56MHZ |
腔尺寸 | D160*220 | D240*260 | D240×420 | D320×320 |
腔體材質 | 石英 | 石英 | 石英 | 石英 |
| 等離子體 | 耦合,腔體內無電極 | 耦合,腔體內無電極 | 耦合,腔體內無電極 | 耦合,腔體內無電極 |
真空度 | 5~100Pa | 5~100Pa | 5~100Pa | 5~100Pa |
真空泵 | 真空泵 | 真空泵 | 真空泵 | 真空泵 |
氣體流量 | 0~500ML/MIN | 0~500ML/MIN | 0~500ML/MIN | 0~500ML/MIN |
冷卻方式 | 風冷 | 風冷 | 風冷 | 風冷 |
氣體通道 | 二路 | 二路 | 二路 | 二路 |
外形尺寸 | 500(W)*550(D)*500(H) | 500(W)*550(D)*500(H) | 560(W)*700(D)*550(H) | 560(W)*700(D)*550(H) |
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石英等離子清洗機原理及功能簡介：
等離子體能與固體和氣體發生相互作用，這是等離子體在材料處理過程中發揮作用的前提。等離子體處理材料的四種基本工藝過程是：等離子體能產生高能粒子，等離子體能濺射產生金屬原子，等離子體能發生化學反應以及等離子體能高效地將電能轉化成為熱能。其中的某單一過程或多個過程都能對材料起到一定的改性作用。
石英等離子清洗機采用電感耦合式工作原理，利用真空泵達到一定的真空值后，在電感的作用下，形成了活性很高的等離子體，由此產生的等離子體可以達到表面改性清洗處理的效果。 通過其處理，能夠改善材料表面的浸潤能力，使多種材料能夠進行涂覆、鍍膜等操作，增強粘合力、鍵合力，同時去除有機污染物、油污或油脂。
該產品能處理塑料、生化材料、PDMS、玻璃或金屬半導體、陶瓷、復合材料、高分子聚合物等材料，并對所處理的材料表面帶來表面超潔凈、提高濕潤性轉變、表面性質改變、提高結合力等處理效果。且不產生金屬污染。
應用范圍
u 材料科學
u 高分子科學
u 生物醫藥材料學，醫療支架
u 微流體研究及PDMS
u 微電子機械系統研究
u 光學
u 顯微術
u 電池極性材料，硅基，金屬半導體，陶瓷
u 科研、實驗、教學
產品優勢
1、可以更靈活地操作，簡便地改變處理氣體的種類和處理程序。
2、不會對人員的身體造成任何傷害
3、低成本。
產品特點
產品主要適用于規模生產/科學實驗
設備結構緊湊,操作簡單容易維護
引進德國核心等離子技術
石英材質,耐腐蝕，不產生金屬污染。
進口針閥精密流量控制計
多路工藝反應氣體通道
可以根據客戶需求定制
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